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E-chuck半导体电子吸盘
| 型号名称 | 最大输出 | 特征 | |
|---|---|---|---|
| 电压（KV） | 功率（W） | ||
联系方式地址：陕西省西咸新区沣西新城西部云谷2期12号楼 电话：86-029-8844 4525 86-029-8868 8901 传真：86-029-8868 8683 E-mail：Sales@wismanhv.com |
7.5KV |
15W |
特点和优势 通过晶圆传感器进行可靠性夹持/释放状态检测 放大器架构设计的快速响应（“无继电器极性反转”设计的高可靠性和长寿命。） 各种卡盘/释放操作的“双通道独立控制（选项）”和“中心抽头电压设置（选项）” 配备LAN、USB、RS-232C数字接口 内置低通射频滤波器 (13.56 MHz) |
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联系方式 地址：陕西省西咸新区沣西新城西部云谷2期12号楼 电话：86-029-8844 4525 86-029-8868 8901 传真：86-029-8868 8683 E-mail：Sales@wismanhv.com |
2KV |
13W |
提高效率和晶圆吞吐量是普通电源的三倍。 减少背面气体错误、提高吞吐量并消除晶圆粘滞/爆裂问题； 控制参数，例如过电流、存在晶圆和晶圆钳位阈值、钳位电压、偏移电压和内部或外部振幅/偏移控制； 调整过程中的幅度/偏移和输出控制的多功能性； 使用后面板 I/O、串行计算机命令或前面板控制来控制输出； 配置自定义钳位和去钳位序列和波形。 可锁定的前面板控制界面 支持 Coulombic 和 Johnsen-Rahbek ESC 技术 将静电卡盘配置文件上传并存储到设备，并通过用户友好的软件界面存储在内部 晶圆检测包括无晶圆、存在晶圆或晶圆夹紧状态 |
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联系方式 地址：陕西省西咸新区沣西新城西部云谷2期12号楼 电话：86-029-8844 4525 86-029-8868 8901 传真：86-029-8868 8683 E-mail：Sales@wismanhv.com |
3KV |
19.5W |
提高效率和吞吐量：普通电源的三倍。 减少背面气体错误、提高吞吐量并消除晶圆粘滞/爆裂问题； 控制参数，例如过电流、存在晶圆和晶圆钳位阈值、钳位电压、偏移电压和内部或外部振幅/偏移控制； 调整过程中的幅度/偏移和输出控制的多功能性； 使用后面板 I/O、串行计算机命令或前面板控制来控制输出； 配置自定义钳位和去钳位序列和波形。 可锁定的前面板控制界面 支持 Coulombic 和 Johnsen-Rahbek ESC 技术 将静电卡盘配置文件上传并存储到设备，并通过用户友好的软件界面存储在内部 晶圆检测包括无晶圆、存在晶圆或晶圆夹紧状态 |
