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化学气相沉积应用
型号名称 | 最大输出 | 特征 | |
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电压(KV) | 功率(W) | ||
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1KV 2KV 3KV 4KV 6KV 10KV 15KV 20KV 30KV 40KV 50KV 60KV 70KV 80KV 90KV 100KV 120KV |
3000W 4000W 6400W |
1. AC/DC 输出电压120KV,输出功率3kW,4kW,6.4kW 2.纹波电压: 0.01% P-P 温度系数:25ppm/℃ 3.稳定度:开机1小时后每1小时小于0.01% 4.标配网口,RS-232,可选RS-485控制 5.交流AC220V供电或AC380V 6.过压、拉弧和输出短路保护 7.电压和电流调节功能 8.本地或远程遥控控制 9.安全互锁功能 10.可根据用户要求定制 11.通过欧盟CE认证 |
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1KV 2KV 3KV 4KV 6KV 8KV 10KV 12KV 15KV 20KV 30KV 40KV 50KV 60KV 70KV 80KV 100KV 120KV 130KV 150KV 200KV 225KV 250KV 300KV |
6000W |
1. AC/DC 输出电压高达300KV,输出功率6000W 2.纹波电压: 0.1% P-P +1Vrms。温度系数:25ppm 3.稳定度:开机半小时后每小时小于100ppm 4.标配网口,RS-232,可选RS-485控制 5.过压、拉弧和输出短路保护 6.电压和电流调节功能 7.本地或远程遥控控制 8.安全互锁功能 9.可根据用户要求定制 10.通过欧盟CE认证 |