产品介绍
澳门威斯尼斯人0033的ECD系列软件驱动的静电吸盘电源提供一系列功能，可满足各种要求苛刻的应用。该仪器采用了 澳门威斯尼斯人0033放大器技术，该技术已证明可提高效率和吞吐量，相当于其他电源的三倍。 减少背面气体错误、提高吞吐量并消除晶圆粘滞/爆裂问题；控制参数，例如过电流、存在晶圆和晶圆钳位阈值、钳位电压、偏移电压和内部或外部振幅/偏移控制；调整过程中的幅度/偏移和输出控制的多功能性；使用后面板 I/O、串行计算机命令或前面板控制来控制输出；配置自定义钳位和去钳位序列和波形。澳门威斯尼斯人0033的ECD的多功能值得信赖的性能允许在多种独特的工具和流程中使用，无需为设施中的每个独特工具或流程增加新的成本。
产品特点：
可锁定的前面板控制界面
每个单元均提供可溯源校准证书
支持 Coulombic 和 Johnsen-Rahbek ESC 技术
将静电卡盘配置文件上传并存储到设备，并通过用户友好的软件界面存储在内部
晶圆检测包括无晶圆、存在晶圆或晶圆夹紧状态
应用领域：
静电驱动的材料处理
半导体晶圆加工
平板或其他对机械处理敏感的加工材料的非机械转移
特性说明：
输入：DC24V，2A
输出:
输出相位
输出电压 A（参考相）：0 至 ±3 kV
输出电压 B（B 相 =[-1] x A 相）：0 至 ±3kV
输出电压范围：0 至 ±3 kV DC，最大值
输出电流：0 至 ±6.5 mA DC，峰值能力为 10 mA
电压显示：
比例：1V/ 300 V
B相直流：精度优于满量程的 0.5%
失调电压:小于 10 毫伏
输出噪音:低于 50 mV rms
电流显示：
比例:1 V/1 uA
直流精度:±0.1 微安
输出噪音:低于 50 mV rms*
运行条件：
温度：0 至 35°C（32 至 104°F）
相对湿度：至 85%，无冷凝
海拔高度：至 2000 米（6561.68 英尺）
尺寸：高 x 宽 x 深 88.1 x 431.8 x 531.9 毫米（3.47 x 17 x 20.9 英寸），2U 机箱
重量：5.0 千克（11 磅）
直流输入插座：2.0 毫米锁定直流插孔；中心是正和外壳是负（插座配带 Switchcraft S761K 插头）
有接地插座 ，有接地螺栓 。
